Senzori de presiune în bază de Aero-GaN

Abstract

Au fost elaborați și caracterizați senzori de presiune în baza aero-materialului ultraporos de GaN. Aeromaterialul este obținut prin creșterea epitaxială din fază hidridă de vapori a unui strat de câteva zeci de nanometri de nitrură de galiu pe o rețea interpenetrată de tetrapozi din oxid de zinc. În timpul procesului de creștere substratul de ZnO este descompus, obținând în final o rețea interpenetrată de microtuburi de GaN, sensibilitatea cărora a fost caracterizată la presiune hidrostatică. Sensibilitatea senzorilor în bază de Aero-GaN până la 40 atm oferă posibilitatea utilizării acestora într-o gamă largă de aplicații, cum ar fi în domeniul auto, aerospațial, submarine și altele. Nivelul de răspuns al curentului de ordinul zecilor de mA permit ca acești senzori să fie ușor de folosit în echipamente portabile.