DETECTOARE DE ULTRAVIOLETE PE BAZA UNEI STRUCTURI DE AL2O3/ZNO

Abstract

Detectoarele de ultraviolete sunt vitale în tehnologiile cheie , inclusiv aplicații biomedicale. . Heterostructura Al2O3/ZnO este sintetizată prin obținerea ZnO prin metoda sintezei chimice din soluții, apoi prin depunerea de straturi de Al2O3 prin metoda de depunere în strat atomic (ALD). Acest studiu prezintă performanța de detectare UV a heterostructurii Al2O3/ZnO la trei lungimi de undă diferite, de 405 nm, 385 nm și 365 nm în regiunea UV-B a spectrului UV. Din rezultatele obținute, s-a observat că dispozitivul funcționează optim la lungimea de undă UV de 365 nm, cu valoarea răspunsului de ~10-15 la temperatura de operare 25-100 ℃ , cu un timp de răspuns rapid sub 20 de secunde.