Metoda de formare a unei heterostructuri de film ZnO/ZnFe2O4

Abstract

A fost dezvoltată o nouă metodă de obținere a heterostructurilor ZnO/ZnFe2O4 de straturi subțiri nanostructurate pentru fotocataliză, obținute prin pulverizarea magnetron într-o atmosferă de argon la presiune tipică de 2•10-3 mm Hg a țintelor ceramice de ZnO și ZnFe2O4, creșterea straturilor subțiri de oxid de zinc pe un substrat de sticlă se efectuiază prin pulverizare magnetron DC, la o temperatură a substratului de 200 0С și o putere a magnetronului de 1,2 W, creșterea stratului de ZnFe2O4 se realizează prin pulverizarea discretă magnetron de înaltă frecvență cu frecvența tensiunei de alimentare de 13,56 MHz și o putere a magnetronului în intervalul 40-300 W. Viteza de depunere a stratului subțire a variat în intervalul de 0,5-4,0 Å/s. A fost efectuat tratamentul termic în vid de 0,5•10-3 mm Hg la o temperatură de 400-500 0С, cu o durată de 60 minute.